高密度の酸素イオンビーム(一次イオン)を試料表面に衝突させ，微小領域(直径〜10μm)の試料をイオン化し，発生した二次イオンを質量分析計(表面電離型質量分析計参照)で質量分離後，検出器に導入することにより各イオンの強度を測定します。イオン強度を，濃度既知の標準試料と比較することにより未知試料の元素濃度を測定することができます。我々の研究室では，地球・宇宙物質中に含まれる微量元素(濃度10^-6g/gオーダー)の局所定量分析に主に用いられています。