エネルギー分散型元素分析装置を装備した走査型電子顕微鏡です。地球・宇宙物質中の表面観察，鉱物相の同定，主要元素(％オーダー)の濃度分析，主要元素の分布を調べるなど，多目的に利用されています。汎用SIMS，高分解能SIMSおよび光学顕微鏡とコンピューターネットワークを通じてリンクしており，各分析機器間でデータを共有化する独自のシステムを備えています。