英和辞典で sputter の意味を調べると「パチパチはねる」と書いてあります。ここでいうスパッタとは、物体をイオンでたたいてはね飛ばし、はね飛ばされた物体を目的の基板の上につけて薄い膜を作ろうとすることです。具体的には、アルゴンなどの不活性ガスイオンを加速してターゲット物体に高速で衝突させます。するとターゲットの表面で原子や分子と衝突し様々な現象が起こります。この現象のうちで、ターゲットを構成する中性原子や分子が叩き出される過程をスパッタリングといい、叩き出された原子や分子を基板上に付着させ薄膜を形成するための装置をスパッタリング装置と呼びます。