| Containerless processing | Description |
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電磁浮遊炉 Electro Magnetic Levitator For semicconductor and metals 10^-7 Torr 10kW 200W CO2 laser for melting |
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電磁浮遊炉 (Splat急冷システム 対応） Electro magnietic levitator with Splat Quenching for metals 10^-6 Torr 20kW |
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ガスジェット音波浮遊炉 Aero-acoustic levitator for oxides 1700 W CO2 laser with splat quenching system |
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ドロップチューブ Drop tube Top...EML Middle...Tube Bottom...Sample collection 10^-6 Torr 24 m total length |
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雰囲気制御用ガス浮遊炉 Aero-dynamic levitator chamber with Zr O2 sensor. |
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分離式ガス浮遊炉 Separatable Aero-dynamic lavitator with Splat Quench |
| Sample preparation | Description |
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コールドクルーシブル Cold Crucible For preparation of uniform ingot |
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アークメルト Arc Melting For preparation of ingot |
| Characterization | Description |
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放射温度計 Pyrometers 2 color pyrometer *2 Si....0.9 micron 600-1600 C InGaAs....1.55 micron 400-1600 C 1000 Hz single color pyrometer Si....0.9 micron 900-2000 C 1000 Hz Thermopile 4.6~5.2 micron 800-2500 C 100 Hz |
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高速ビデオカメラ High speed Video Cameras Left...Kodak Ektapro HS4540 40 kHz, Visible, white&black Center...Nac Memrecom Ci-4 2 kHz, Visible, color Raytheon Radiance HS Right...5 kHz, IR, black&white |
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黒体炉 Black body furnace for temperature caribration of pyrometer Max. 1400 C |
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日本電子 透過型電子顕微鏡 JEOL TEM with EDAX 300 kV |
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TOPCON 走査型電子顕微鏡 TOPCON SEM with EBSP & EDAX |
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SII 原子間力顕微鏡 SII Atomic Force Microscope |
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イオンミリング Ion milling |
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ゴールド，カーボンコーティング Au-Pd and carbon coater |
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光学顕微鏡，実体顕微鏡 Optical microscope & Steleomicroscope with Desigtal capture system |
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ラウエ，粉末エックス線装置 Laue & powder XRD Mac Science 3 kW |
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微小部エックス線装置 Micro focus XRD Mac Science 18 kW |
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VSM |
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DTA & TG Mac Science Max. 1700 C 雰囲気制御可能 |
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放電加工機 |
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ファインカッター Fine cutter |
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ダイアモンドカッター Diamond cutter |
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グローブボックス Glove box |
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イメージ炉 Image furnace 1200 C 雰囲気制御可能 |
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研磨機 Polish station |
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マッフル炉 Muffle furnace Max. 1700 C |
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管状炉 Furnace Max. 1500 C |
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真空封入装置 Vaccum station for sealing of glass |
