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| 特集 第５回宇宙科学シンポジウム |
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超軽量SiCミラーの高効率加工
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| 図1 SiCミラーの裏面 図2 ELID研削加工後のSiCミラーの鏡面 |
※ ELID研削法：理化学研究所大森素形材工学研究室が開発した研削加工技術。http://www.elid.jp/
そこで，加工時の変形を予測するシミュレーションを行い，最も効率よく加工できる加工条件を求めました。実際にナノ精度超精密加工機を使用して研削加工を行ったところ，通常では700〜800nmの加工変形が生じますが，シミュレーションによる最適な加工条件では変形量が70nm弱で得られ，変形量が1/10となるとても効率のよい加工を実現しました。
これからはシミュレーションと加工技術，さらには計測技術など，すべてを統一したデータで取り扱う高効率ミラー製造システムを開発する予定です。
(理化学研究所VCADものつくり応用チーム)
